本报北京九月二十九日讯(记者柳路)我国又一项高科技效果,“七五”国家科技攻关项目:1—1.5微米CMOS(互补金属氧化物晶体管)超大规模集成电路成套工艺技能今天在清华大学经过技能鉴定。
1—1.5微米CMOS工艺是当时国际上集成电路工业生产的干流技能,它是在不到小拇指甲大的面积上,集成一百零六万个晶体管,最小线宽只相当于一根头发丝的十六分之一。它的研制成功使我国微电子技能初次进入超大规模集成电路范畴。